A vákuumszivattyú egy folyadékgép, amely kivonja a gázt egy vákuumkamrából, hogy vákuumot hozzon létre. Ez alapvető fontosságú a különféle folyamatműveletekhez. Íme néhány általános alkalmazás:
1. Tudományos kutatás és laboratóriumok: A vákuumszivattyúkat széles körben használják olyan berendezésekben, mint például a kémiai gőzlerakódás (CVD) rendszerek, az atomi erőmikroszkópok (AFM) és a pásztázó elektronmikroszkópok (SEM) a szükséges vákuumkörnyezet biztosítása érdekében.
2. Orvosi: Egyes orvostechnikai eszközök, például a hemodialízis gépek és a szellőztetők vákuumszivattyúkat igényelnek a betegkezelés elősegítéséhez.
3. félvezető ipar: A félvezető gyártás során nagy mennyiségű vákuumberendezésre van szükség a szilícium ostyák és más anyagok feldolgozásához. Például a szilícium ostyák termikus oxidációs folyamata során vákuumszivattyúkra van szükség a légkör és a nyomás szabályozásához.
4. Napi élet: Néhány háztartási készülék vákuumtechnikát is használ a termék teljesítményének és minőségének javítására. Például a porszívóban lévő motor a vákuumnyomás elvén alapul.